Cobaltdisilicid
| Kristallstruktur | |||||||||||||
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| _ Co2+ _ Si− | |||||||||||||
| Allgemeines | |||||||||||||
| Name | Cobaltdisilicid | ||||||||||||
| Andere Namen |
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| Verhältnisformel | CoSi2 | ||||||||||||
| Kurzbeschreibung |
grauer geruchloser Feststoff[1] | ||||||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | |||||||||||||
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| Eigenschaften | |||||||||||||
| Molare Masse | 115,11 g·mol−1 | ||||||||||||
| Aggregatzustand |
fest[1] | ||||||||||||
| Dichte |
5,3 g·cm−3[1] | ||||||||||||
| Schmelzpunkt | |||||||||||||
| Löslichkeit |
praktisch unlöslich in Wasser[1] | ||||||||||||
| Sicherheitshinweise | |||||||||||||
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| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. | |||||||||||||
Cobaltdisilicid ist eine chemische Verbindung des Cobalts aus der Gruppe der Silicide.
Gewinnung und Darstellung[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
Cobaltdisilicid kann durch Reaktion von Cobalt mit Silicium gewonnen werden.[2]
Eigenschaften[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
Cobaltdisilicid ist ein grauer, geruchloser Feststoff, der praktisch unlöslich in Wasser ist.[1] Er besitzt eine kubische Kristallstruktur vom Fluorittyp mit der Raumgruppe Fm3m (Raumgruppen-Nr. 225).[2]
Verwendung[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
Cobaltdisilicid wird vielfältig in der chemischen Forschung eingesetzt.
In der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik wird Cobaltsilicid für die niederohmige Kontaktierung von Silicium bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltkreisen (VLSI) in 250-nm- bis 90-nm-Technik verwendet.[1] Es löste zunächst das gängige Titandisilicid ab, wurde dann ab dem 90-nm-Technologieknoten aufgrund von physikalischen Nachteilen zunehmend durch Dinickelsilicid ersetzt (siehe Salicide-Prozess).
Verwandte Verbindungen[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
Neben Cobaltdisilicid sind mit dem orthorhombischen Co2Si, dem kubischen CoSi und dem kubischen CoSi3 mindestens drei weitere Cobaltsilicide bekannt. Zwei weitere, Co5Si3 und Co3Si, sind noch nicht genau untersucht.[3]
Einzelnachweise[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
- ↑ a b c d e f g h i Datenblatt Cobalt silicide, 99% (metals basis) bei Alfa Aesar, abgerufen am 2. November 2021 (Seite nicht mehr abrufbar).
- ↑ a b Lih J. Chen, Institution of Electrical Engineers: Silicide Technology for Integrated Circuits. IET, 2004, ISBN 978-0-86341-352-0, S. 78 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ E. G. Rochow: The Chemistry of Silicon Pergamon International Library of Science, Technology, Engineering and Social Studies. Elsevier, 2013, ISBN 978-1-4831-8755-6, S. 1360 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).