Diskussion:Massendurchflussregler

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Letzter Kommentar: vor 8 Jahren von 95.168.128.192 in Abschnitt Elektrischer Anschluss
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Elektrischer Anschluss

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So wie's aussieht haben die meisten technischen Massenflussregler (für Halbleiterbearbeitung) folgende Anschlüsse:

  • Sollwert 0..5 V, hochohmiger Eingang im MOhm-Bereich
  • Istwert 0..5 V, Ausgang im 1-kOhm-Bereich
  • Versorgung +15 V, einige 10 mA
  • Versorgung -15 V, um 100 mA (scheint wohl das Proportionalventil zu steuern)
  • Masse

Im Innern werkelt dann reine Analogtechnik.

Alternative Analogsignalisierungen sind 0..10 V, 0..20 mA oder 4..20 mA. Weitere Anschlüsse können eine Notsperrvorrichtung und/oder die Nullpunktkalibrierung steuern.

Modernere Massenflussregler enthalten einen Mikrocontroller mit A/D- und D/A-Wandlung, Skalierung und einen Industrie-Feldbusanschluss oder zumindest RS232.

--95.168.128.192 00:35, 19. Jan. 2016 (CET)Beantworten