Sprühpyrolyse
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Die Sprühpyrolyse ist eine Synthesestrategie in der anorganischen Chemie. Hierbei wird im Rahmen des Sol-Gel-Verfahrens ein Substrat durch einen Zerstäuber auf eine beheizte Oberfläche gesprüht und reagiert dort mit selbiger. Mit diesem Verfahren ist es möglich, dünne Schichten auf ebenen Flächen zu fixieren.[1]
Geschichte[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
Die Sprühpyrolyse wurde 1966 von Chamberlin und Skarman erfunden, um Cadmiumsulfid und andere Sulfide bzw. Selenide als dünne Schichten darstellen zu können. Seit 1966 hat sich die Dünnschichtchemie rapide weiterentwickelt.[1]
Einzelnachweise[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]
- ↑ a b Joy Georg und Twig Georg (Hrsg.): Preparation of Thin Films. 1. Auflage. Marcel Dekker Inc, 1992, ISBN 978-0-88167-764-5, S. 340 ff.