Vorlage:BibISBN/0852969066
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| Werk | |
|---|---|
| Titel | Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication |
| Herausgeber | Prosenjit Rai-Choudhury |
| Verlag | Institution of Engineering and Technology |
| Ort | London |
| Datum | 1997 |
| Identifikation
| |
| ISBN | ISBN 0-85296-906-6 |